銅基板、銅ペースト基板の研磨

コンテンツの目次

• 銅を磨く目的
• 銅の表面粗さ
• ニットーの研磨方法
• まとめ

銅を磨く目的

当社にご依頼いただく銅磨き案件の主な目的は、「①板厚調整」「②表面を整える」「③平面度や平行度の精度を出す」といった3点が挙げられます。

①板厚調整

②表面を整える

③平面度や平行度の精度を出す

特に最近では表面のキズの除去(極小化)や表面精度を出し、光沢のある基板へと仕上げる引き合いが多いです。また、ガラス基板など別の素材に銅をペーストした後の研磨の引き合いも多く頂いております。

銅の表面粗さ

キズの除去を追及する中で重要な指標となってくるのが「表面粗さ」と呼ばれる数値です。

表面粗さを改善することは、見た目向上という目的だけでなく、伝送損失の軽減といった機能的向上が期待できるなど高品質な製品を作り込む上で非常に重要なパラメーターとなります。

当社では、独自の研磨方法により白色干渉計にて『２nm以下』の粗さを実現しております。

※測定方法や測定エリアによって数値が変動します。

ニットーの研磨方法

銅の研磨方法

銅の研磨には主に以下の研磨方法が採用されます。

・化学研磨

・機械研磨

・手動研磨

・電解研磨

当社では機械研磨を採用しておりますが、セラミックローラーのような研磨方式ですと高い品質の粗さを実現できません。当社では加工機を用いた独自の方法を採用し、セラミックローラーよりも高品質な粗さを実現しております。

ニットーの研磨機

当社の研磨で使う加工機は片面のみ加工していく「片面研磨機」と両面を同時に加工していく「両面研磨機」の2種に分かれます。当社は両装置ともに多数保有しており、必要に応じて使い分けをしております。

• 片面研磨機

一般的に、加工物を上側・下側のいずれかに設置し、もう片方に研磨パッドや研磨石を設置する装置です。加工物の設置には真空吸着などの貼り付けやクランプ治具を用います。

加工方法は回転する定盤上で連れ回りする加工物に対して、直径方向に円弧揺動させながら片面のみの磨いていく研磨機です。

• 両面研磨機

両面加工機は上定盤・下定盤と呼ばれるプレートでワーク（加工対象物）をプレスし、定盤が回転しながら加工を行います。ワークは「キャリア」と呼ばれる治具を用いて飛び出しを防ぎます。また飛び出し防止の目的と合わせて、キャリアの外周に歯を作り、下定盤にもある歯と嚙合わせる事によって、ワーク自体も回転する構造となっております。

ニットーの研磨機の特徴

ニットーは片面機・両面機合わせて100台以上の研磨装置を保有しております。

また装置のサイズもバリエーション豊富で、片面機・両面機はもちろんの事、装置のサイズも小型機・中型機だけでなく、大型機(※例：730×920が4枚同時に加工できる大きさ)も多数保有しております。そのため、小型機で試作開発を初め、量産対応として中型・大型機を用いるような一気通貫加工も得意です。

試作開発と量産加工とを別々の会社に依頼すると、それぞれのフェーズで１から情報共有や書面での取り交わし、品質確認などを行う必要があるため手間と無駄な管理コストが発生してしまいます。そのような無駄を排除するためにも当社の装置がお役に立てるはずです。

※最終製品が大型基板の場合でも小型基板から開発を進め大型基板にシフトしていく際にも当社の環境は有益です。

まとめ

ニットーでは長年培ってきた経験と、新たな知見を融合させ独自の研磨方法を採用しております。それにより銅のような柔らかい素材でも高い品質を得られております。

現行のお困りごとや、更なる品質向上を検討しておられる場合は是非ともお声がけをお待ちしております。