研磨加工における共焦点顕微鏡の役割

共焦点顕微鏡と一般的な光学顕微鏡との違い

共焦点顕微鏡はコンフォーカル顕微鏡とも呼ばれ、共焦点レーザー顕微鏡、レーザー走査式共焦点顕微鏡も同類の顕微鏡です。コンフォーカル顕微鏡と一般的な光学顕微鏡との大きな違いは、検出器の手前の焦点面にピンホールが設置されていることです。

ボケの無いシャープで分解能が高い画像を得られる共焦点顕微鏡

試料上の1点から出た光が顕微鏡の光学系を通った後に、再び1点に集まる点にピンホールを置くと、その1点から出た光以外を排除できます。この効果を利用するとボケの無いシャープで分解能が高い画像を得られます。

試料表面上と検出器上に2点の焦点を持つ特徴的な構造であることから、共焦点と呼ばれます。

研磨加工品検査における共焦点顕微鏡のメリット

① 画像がボケない

共焦点顕微鏡では、焦点位置の光だけがピンホールを通過して検出されます。一方、光学顕微鏡では焦点外からの光も検出され、ボケとして観察されます。

② 解像度が高い

共焦点顕微鏡では不要な散乱光を除去できるため、水平方向の解像度が向上しシャープな画像を得ることができます。

③ 観察対象

共焦点顕微鏡では、限られた高さでしか焦点が合わないので、焦点の合った画像だけを所得して合成することで立体構造を知ることができます。

ニットーでの使い方

研磨状態の把握や欠陥の原因特定などに効果的

ニットーの研磨加工で扱っているガラスや結晶などの透明体の観察は、観察照明が試料の表面だけでなく、透過して裏面やステージや欠陥などあらゆるところで光が反射し散乱してしまうため、所得する画像がボケてしまい正確な観察が非常に難しいです。

共焦点顕微鏡は限定された部分だけの光を焦点として合わせることが可能であるため、透明体の表面だけや内部の異物だけをシャープに観察することが可能です。

シャープに観察できることによって、製品や部品の正確な情報を得ることができ、研磨面の状態の把握や欠陥の発生原因の特定などに効果的です。

まとめ

• 共焦点顕微鏡はボケの無いシャープで分解能が高い画像を得られる
• 共焦点顕微鏡は透明体の表面だけや内部の異物だけをシャープに観察できる
• 共焦点顕微鏡は研磨面の状態や欠陥を正確に把握できる

ニットーには共焦点顕微鏡を始めとした観察装置・分析装置・測定装置を取り揃えています。研磨加工が難しい製品や部品・材料の状態を正確に把握し、最適な加工方法を提案させて頂きますので、お困りの際はニットーへご相談ください。

関連コンテンツ

• 研磨加工の検査とは