研磨加工の検査とは

研磨の検査

ガラス、セラミックス、金属や樹脂などあらゆる素材を研磨加工した後に、キズや欠けている個所などがないか、汚れが付着していないか確認する工程です。埃を極限まで排除した特別な空間（クリーンルーム）において実施します。

クリーンルーム内は主に暗室となっており、必要な光源を使用し様々な角度から確認を行います。不良品をお客様に出荷しないための最も重要なチェック機能を果たします。

検査の目的

製品の品質確認

研磨加工された製品はお客様に求められている規格を満たすことはもちろん、安定した品質を継続的に維持できなければなりません。さらに、研磨加工された製品の品質がバラつくことなく仕上がってるかを確認します。

研磨機など設備の精度の確認

研磨加工を繰り返すと研磨機や研磨剤も消耗してきます。検査結果が規格内であっても、製品の仕上がり状態にバラつき（※）が生じている場合は研磨機など設備の精度を維持するためのメンテナンスが必要となる場合があります。メンテナンスの要否判断も検査の目的の重要な項目です。

※ 製品の仕上がり状態にバラつき

通常と異なるモードが検出される、傾向に偏りがあるなど

検査の手順

研磨加工後、洗浄工程を通過した製品が検査室（クリーンルーム）に専用のカセットに入った状態で自動搬送されてきます。検査室内でカセットから製品を取り出し、以下の項目について目視またはルーペなどを使用して検査を行います。

1. 表面状態の確認
2. 形状の確認
3. 製品内部の確認

表面状態の確認

製品の表面に規格を外れたキズがないか、また汚れが付着していないかを確認します。規格を外れた場合は、前工程の研磨および洗浄工程に戻され再加工や再洗浄を行い、再び検査に送られてきます。

形状の確認

製品の外観に欠けている部分がないかを確認します。こちらも主に目視で行いますが、判断に迷う場合はルーペを使用して厳密に確認を行います。規格内であることが確認されれば出荷致します。

製品内部の確認

ガラスを例にご説明します。研磨加工により表面が鏡面化されると透明度が増しますので製品内部の状態が確認できるようになります。その際、ガラス材料の作りこみの段階で混入した内部異物や気泡が確認される場合があります。内部欠陥は材料起因であり、研磨では取り除く術はありませんが、この結果をお客様にお伝えすることも重要な検査の役割です。

まとめ

ニットーの検査工程では、訓練を受け熟練した検査員が対応しております。研磨加工の検査だけでもご用命いただくことも可能ですので、お気軽にお問合せください。
本コンテンツでは、外観検査（キズ、カケ、汚れ）に関する内容を記載しました。研磨後の基板精度（平面度、平行度、面粗さなど）につきましては「測定」の項目で詳しくご説明いたします。