平面研磨における斜入射レーザー干渉計（平面度解析装置）について

斜入射レーザー干渉計とは

斜入射レーザー干渉計により発現した干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、様々なサンプルの平面形状をデジタル計測する平面度解析装置です。3D画像で表示できるため立体的に可視化できることが特徴です。

また、レーザー干渉計とは異なり、鏡面や透明体でなくとも測定が可能な平面度解析装置の1種となります。

斜入射レーザー干渉計の用途

ガラス・セラミック・樹脂など多様な素材の平面形状を測定することができます。測定定した形状をもとに、ニットーの加工ノウハウによりサンプルの平坦化を実現します。保有装置での測定可能サイズは200mm×200ｍｍまでとなります。

鏡面から粗面まで測定できるため、研磨工程やLAP、切削、研削などの粗加工など様々な工程で使用可能です。測定可能レンジは200μｍまでとなります。また、サンプルは非吸着での測定となります。

斜入射レーザー干渉計の代表的な測定項目

主に使用される測定項目として、以下があげられます。

1. 平面度（TIR）
2. SORI
3. Bow
4. Warp

平面度（TIR）

全面吸着時のサンプルにおいて、基準面（最小二乗平面）からの最高点と最低点との距離の合計値です。

SORI

非吸着時のサンプルにおいて、基準面(最小二乗平面)からの最高値と最低値との距離の合計値となります。測定値は常にプラス値となります。

BOW

非吸着時のサンプルにおいて、サンプル中心部における基準面(三点基準面)とサンプルの距離を表します。その値はプラス・マイナスのいずれか大きい値を表します。

WARP

非吸着時のサンプルにおいて、サンプル中心部における基準面（三点基準面）からの最高値と最低値を合わせた距離の合計値となります。測定値は常にプラスとなります。

サンプルの平面形状の測定が可能

ニットーでは斜入射レーザー干渉計を用いることでサンプルの平面形状の測定が可能です。ニットー独自の加工ノウハウにより、様々な品種（ガラス・セラミックス・金属など）の平面形状の修正・平坦化を行います。どうぞお気軽にご相談ください。

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