--- title: 平面研磨における斜入射レーザー干渉計（平面度解析装置）について description: 斜入射レーザー干渉計により発現した干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、様々なサンプルの平面形状をデジタル計測する平面度解析装置です。3D画像で表示できるため立体的に可視化できることが特徴です。レーザー干渉計とは異なり、鏡面や透明体でなくとも測定が可能な平面度解析装置の1種となります。 image: https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ogp/%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E6%96%9C%E5%85%A5%E5%B0%84%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC%20%E5%B9%B2%E6%B8%89%E8%A8%88%28%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E5%BA%A6%E8%A7%A3%E6%9E%90%E8%A3%85%E7%BD%AE%29%E3%81%AB%E3%81%A4%E3%81%84%E3%81%A6%7C%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E7%A0%94%E7%A3%A8%E6%8A%80%E8%A1%93.jpg --- [Skip to content](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/grazing-incidence-laser-interferometer#main-content) [![NITTO](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg) ニットーの 平面研磨技術](https://www.nitto-gr.co.jp/service) - [技術・サービス](https://www.nitto-gr.co.jp/service) - [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity) - [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality) - [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/) - [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) Show submenu for 研磨加工技術ブログ - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) - [研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98) - [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5) - [技術・サービス](https://www.nitto-gr.co.jp/service) - [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity) - [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality) - [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/) - [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) Show submenu for 研磨加工技術ブログ - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) - [研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98) - [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/%E3%83%8B%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%BC%E3%81%AE%E7%A0%94%E7%A3%A8%E5%8A%A0%E5%B7%A5) ![NITTO](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg) ニットーの平面研磨技術 [お知らせ](https://www.nitto-gr.co.jp/news)[企業サイトはこちら](https://www.nitto-gr.co.jp/) - [ホーム](https://www.nitto-gr.co.jp/service) - [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) - 平面研磨における斜入射レーザー干渉計（平面度解析装置）について # 平面研磨における斜入射レーザー干渉計（平面度解析装置）について 2023.12.18 [ニットーの研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/tag/ニットーの研磨加工) - ![copy](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_copy.svg) コピーしました - ![print](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_print.svg)この記事を印刷する - [![mail](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_mail.svg)メールで記事をシェア](mailto:?body=平面研磨における斜入射レーザー干渉計（平面度解析装置）について%20https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/grazing-incidence-laser-interferometer) ## 斜入射レーザー干渉計とは 斜入射レーザー干渉計により発現した干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、様々なサンプルの平面形状をデジタル計測する平面度解析装置です。3D画像で表示できるため立体的に可視化できることが特徴です。 また、レーザー干渉計とは異なり、鏡面や透明体でなくとも測定が可能な平面度解析装置の1種となります。 ## 斜入射レーザー干渉計の用途 ガラス・セラミック・樹脂など多様な素材の平面形状を測定することができます。測定定した形状をもとに、ニットーの加工ノウハウによりサンプルの平坦化を実現します。保有装置での測定可能サイズは200mm×200ｍｍまでとなります。 鏡面から粗面まで測定できるため、研磨工程やLAP、切削、研削などの粗加工など様々な工程で使用可能です。測定可能レンジは200μｍまでとなります。また、サンプルは非吸着での測定となります。   **ニットーが保有する斜入射レーザー干渉計** - 測定可能サイズ　200mm×200ｍｍまで - 測定可能レンジ　200μｍまで - サンプルは非吸着での測定 ## 斜入射レーザー干渉計の代表的な測定項目 主に使用される測定項目として、以下があげられます。 1. 平面度（TIR） 2. SORI 3. Bow 4. Warp ### 平面度（TIR） 全面吸着時のサンプルにおいて、基準面（最小二乗平面）からの最高点と最低点との距離の合計値です。 ### SORI 非吸着時のサンプルにおいて、基準面(最小二乗平面)からの最高値と最低値との距離の合計値となります。測定値は常にプラス値となります。 ### BOW 非吸着時のサンプルにおいて、サンプル中心部における基準面(三点基準面)とサンプルの距離を表します。その値はプラス・マイナスのいずれか大きい値を表します。 ### WARP 非吸着時のサンプルにおいて、サンプル中心部における基準面（三点基準面）からの最高値と最低値を合わせた距離の合計値となります。測定値は常にプラスとなります。 ## サンプルの平面形状の測定が可能 ニットーでは斜入射レーザー干渉計を用いることでサンプルの平面形状の測定が可能です。ニットー独自の加工ノウハウにより、様々な品種（ガラス・セラミックス・金属など）の平面形状の修正・平坦化を行います。どうぞお気軽にご相談ください。 [![ニットーに相談する](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-139464851284.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJ%2F0o8QqfhVyuiErE8mBTF6fjBLUS%2F5OUfa3SxsNjf8jxS4TpDz%2BuUD%2F0V0Bq7IYkTfWXsNHAAmbuHxDF1%2FBJ%2FWSe7QN3QBsWR8P5IcoO0bkCFejNCGCMmnCE2e2RXS3qA2%2BUB7uTIFfGZJnbNY6bQWjocMEloLIGOdodQ%2B5qOZJpjce0h37OCJQ8XSyw%3D%3D&webInteractiveContentId=139464851284&portalId=39712231) ### 関連記事 - [研磨加工の検査とは](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/inspection-of-polishing-process) 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![ico_aside_download](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/ico_aside_download.svg) 情報収集・社内共有に お役立てください [![資料をダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201467.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLLxXFR9EN2hhrZ1MoXTK%2F2srkIsGwYJQg1ZSVF00A7KFwAc21KbYExJq7qYstlN6oMfNV2cA0KpFcuO4jKcsHe%2BiNRJtDhGhdsNSSGRRYqHSAOJVRrd8Krsk2ndO%2ByIwfJvxARQLM5sy3SRQLtG6Oxi9t1Ed%2B3Z%2F9jQgDXMiJcJLWTGESWQVOBVbc0od6%2F4&webInteractiveContentId=127962201467&portalId=39712231) 目次 よく読まれている記事 [![ラップ研磨（ラッピング研磨）とは。｜研磨加工基礎知識](https://lh5.googleusercontent.com/_TfBMRaCHhDvu038aStG6mYflfTKdt2KzTc0Lg2zhw5Htr_6MzdkkAiAUgFdcnnZWdnzhl0cDX2O9G79BvTPgvvjnl-sailNdNVRWPDqLkn-ROlSEHvbuRVfFOMeT8HOtzCr2qEeITDsJ_l914EN1kw) ラップ研磨（ラッピング研磨）とは 2023.08.31 研磨加工の基礎知識](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/nao230831) 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![お問い合わせはこちら](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/img_contact.svg) 素材・製品で 課題をお持ちの方 [![お問い合わせはこちら](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201481.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJZqlX4xTifSKkVbhopL0OQ4Sbkwm9HT899RyCE2UDbJuPkyYIBYuTI6yJPrj%2FLrTBSdVAM%2BRjhBTWi%2Fo8G2jxkumGuy1JsWY3w3oRe9PE5jyEw8ukjhOoqr94EIUr7Ffyw6kuEhdEDEQbGq4aYiiBeC6KjT1jgpY5xjQ6799pvoSjWLZ01Uy6R8fcXvw%3D%3D&webInteractiveContentId=127962201481&portalId=39712231) [![資料をダウンロードする](https://hubspot-no-cache-na2-prod.s3.amazonaws.com/cta/default/39712231/interactive-127962201485.png)](https://www.nitto-gr.co.jp/hs/cta/wi/redirect?encryptedPayload=AVxigLJ8z67Y%2B6ZABgQ1vpp%2FMg1f9AWXV2Ef8sPYmLxiyfwlNnRDEEd%2B4aY5OSH98IBQkcrdpLF28Idlq%2BkhNcM%2FqJlAcThOQ0BRboU8WCqaHNbnleW%2BeguN%2FAcq2TRYRwyOB47O1sLPQXg4in2GvBsoz8Tm8lSgEBjzOjTSST341PnmF37uXHfC6vIZi7PPPO4G&webInteractiveContentId=127962201485&portalId=39712231) 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top](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/btn_pagetop.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge/grazing-incidence-laser-interferometer#pagetop) [![logo](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/logo.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp/service) ニットーの平面研磨技術 [![企業サイトを見る](https://www.nitto-gr.co.jp/hubfs/bnr_corporate.svg)](https://www.nitto-gr.co.jp) - 技術・サービス - [ニットーの生産能力](https://www.nitto-gr.co.jp/service/capacity) - [ニットーの表面品質](https://www.nitto-gr.co.jp/service/quality) - [研磨加工](https://www.nitto-gr.co.jp/service/polishing/) - [資料ダウンロード](https://www.nitto-gr.co.jp/service/documents) - [試作のご相談](https://www.nitto-gr.co.jp/service/trial) - [お問い合わせ](https://www.nitto-gr.co.jp/contact) - [お知らせ](https://www.nitto-gr.co.jp/news) - [プライバシーポリシー](https://www.nitto-gr.co.jp/policy) - [研磨加工技術ブログ](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) - [記事一覧](https://www.nitto-gr.co.jp/service/knowledge) - 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