ケミカル研磨・メカニカル研磨とは

ケミカル研磨（化学的研磨）とは

ある特定の酸、アルカリ、塩類より構成された研磨液に研磨対象物を浸漬し、その溶解作用（化学反応）により研磨対象物の表面を平滑化・光沢化させる方法がケミカル研磨です。

ケミカル研磨の手順

1. 受入　材料に欠陥がないか確認
2. 脱脂　油分、汚れを除去
3. 水洗　汚れを除去
4. 化学研磨　化学反応による研磨
5. 水洗　溶剤等の汚れを除去
6. 湯洗　加温による洗浄
7. 超音波洗浄　超音波を用いた洗浄
8. 乾燥　水分の乾燥
9. 検査　研磨による欠陥の有無確認
10. 梱包　製品梱包

メカニカル研磨（物理的 "機械" 研磨）とは

メカニカル研磨は研磨剤を含んだ布や研磨紙、研磨ホイール、研磨盤などを使用して研磨対象物の表面に摩擦や圧力をかけて磨くことで、研磨対象物の表面を平滑化・光沢化させる方法です。「固定砥粒研磨」と「遊離砥粒研磨」の2種類に分かれます。

メカニカル研磨の種類と加工方法

固定砥粒研磨

ダイヤモンド粒子やアルミナ粒子等の砥粒が紙や金属、樹脂等にボンドで固定されているもので研磨する方法。ヤスリ（紙ヤスリ）、ベルト、砥石などがあります。

加工方法

• ベルトや砥石を高速回転させ、研磨対象物に当てることで表面を削って磨く
• 高速回転するベルトや砥石の表面では、刃として働く砥粒が加工物を削りながら損耗・脱落し、その下の砥粒がまた表面に出てくることで、継続した研磨ができる
• ヤスリや紙ヤスリ等を研磨対象物に当て、摩擦運動をさせることで表面を削って磨く

遊離砥粒研磨

砥粒が固定されているのではなく粉末状であったり液体などに混ぜられた状態のもので研磨する方法。ブラスト研磨材や研磨スラリー液などがあります。

加工方法

• 研磨定盤などで研磨対象物に圧力をかけながら、定盤と研磨対象物の間に砥粒を液体に混ぜたスラリー状の研磨剤を転動させることで表面を削っていく

CMP(Chemical Mechanical Polishing)研磨（化学的機械研磨）

遊離砥粒研磨は研磨剤（砥粒）自体が有する表面化学作用またはスラリーに含まれる化学成分の作用によって、スラリーと研磨対象物の相対運動により機械的研磨効果を増大させることから『CMP(Chemical Mechanical Polishing)研磨（化学的機械研磨）』と言われることもあります。

まとめ

ニットーの研磨方式はメカニカル研磨（CMP研磨）となります。お客様が求める品質に応じて、固定砥粒研磨、遊離砥粒研磨を選択して加工に応じます。

また、CMP研磨においては研磨剤やパッドなどあらゆる選択肢がある中、当社の実績とノウハウで最適な加工条件の選定が可能です。試作も含めてお気軽にご相談ください。