タンタル酸リチウム研磨とは

タンタル酸リチウム

素子として使用される酸化物単結晶

タンタル酸リチウム（LT:LiTaO3）は「表面弾性波素子」「圧電素子」「レーザー素子」などとして使用される酸化物単結晶です。
このLT結晶を用いて製造されたLT基板（ウエハー）は表面弾性波（SAW:Surface Acoustic Wave）フィルタ用材料として最も使用されています。スマートフォンなどの通信機器に搭載されており、信号ノイズの除去を行います。

ニットーのタンタル酸リチウム研磨

LTウエハーは、チョコラスキー法で育成したインゴットを「円筒研削」「スライス」
「ラップ・ポリッシュ加工」により作成されます。ニットーはラップ・ポリッシュ加工に多くの実績があります。

ニットーのラップ・ポリッシュ加工

製品仕様例：6インチ片面ミラー品

ニットーの代表例です。（6インチ片面ミラー品の製品仕様）

+面がミラー面、-面が粗面となっています。キズ・汚れ・クラック・チッピングは外観検査にて行い、その他は測定機による評価となります。

測定例：TTV、LTV、PLTV

TTVは測定範囲全面、LTVはローカルエリアでの厚さ均一性を評価しています。
PLTVはLTVの規格に合格している割合を表します。規格外がある場合は、赤色で表示されます。

PLTV＝100％

測定例： Ra（ポリッシュ面）

ポリッシュ面（ミラー面）の表面粗さ：Raの測定画像になります。
原子間力顕微鏡（AFM）を用いて測定し、原子レベルの分解能で凹凸を確認できます。

表面粗さ=0.12nm

まとめ

タンタル酸リチウム研磨についてのご相談承ります

ニットーではタンタル酸リチウムのSAWグレードのみでなく、光学用途の両面ミラーの研磨対応も可能です。また、ニオブ酸リチウムなどの様々な結晶物の研磨対応が可能です。
試作からも承りますので、「この素材の研磨ができるかどうかも分からない…」「結晶物の研磨の性状・品質で困っている」などでお困りの企業様はぜひお気軽にご相談ください。