研磨の平面度測定におけるレーザー干渉計及び解析装置

レーザー干渉計とは

非接触で平面度測定が可能な装置がレーザー干渉計です。製品をキズ付けてしまうなどのリスクを軽減し測定することが可能です。被測定面が研磨面（鏡面）であれば平面度測定が可能です。ご要望に応じて研磨した製品の平面度測定を実施し、測定結果をお客様と共有させていただくことも可能です。

測定可能な材質

「被測定面が研磨面（鏡面）」であれば下記のような様々な材質が測定可能です。

ガラス系

カバーガラス、半導体マスク基板、各種フィルター、液晶用ガラスなど

金属

金型、アルミディスクなど

その他

銅板、各種樹脂、シリコンウエハー、ハードディスク用基板など

干渉計の概念

干渉計は「光源から出た光」を2つの光に分割し反射させることにより測定を行います。これにより画面上へ干渉縞が映し出され、その干渉縞を見ることにより測定サンプルの表面形状や透過波面形状を測定することができます。

干渉縞の見方

干渉縞は基準レンズに対して約0.3μmの高さごとの等高線です。この等高線の本数を数えることにより、平面度の測定を行います。

干渉縞の解析装置について

干渉縞写真を見れば被検面の大まかな形状や平面度（あるいは球面度）が分かりますが、複雑な形の干渉縞の場合には専用の解析装置が必要となります。干渉縞解析装置は干渉縞画像をコンピュータに取り込み形状を計算する装置であり、様々な数値解析等を自動で行うことができます。ニットーでは干渉縞解析装置を用いて干渉縞の本数だけではなく多角的な解析を研磨面に対して行うことができます。

まとめ

ニットーではレーザー干渉計を用いてさまざまな材質の平面度測定及び品質保証を可能としております。「この材質は研磨できる？平面度測定や保証は可能？」など少しでも迷うことがありましたらお気軽にお声がけください。