大型平坦度測定機について

このコンテンツは大型平坦度測定機ついて説明しています。

このコンテンツの目次

• 大型平坦度測定機とは
• なぜこの測定機が必要なのか
• 測定の仕組み
• まとめ

大型平坦度測定機とは

大型平坦度測定機は、弊社で扱う基板の中でも特に大型の基板測定を行う場合に使用されます。弊社では、板厚および平行度の測定はマイクロメータやレーザー測定器、平面度の測定はトロペルおよびレーザー干渉計などが基本となっております。

なぜこの測定機が必要なのか

上記のように、弊社は様々なパラメータを測定するために多種多様な測定機を保有しておりますが、基板サイズが大きい場合は、通常の方法では測定が難しい場合があります。基板は基本的には剛性があるため、ある程度の大きさまでは通常の方法で問題なく測定できます。しかしながら、基板サイズがスケールアップすると、基板そのものの自重により、支点からの距離が遠い部分が重力によって歪むことで、正確な測定ができなくなります。本測定器は基板を縦方向に設置することで、基板面方向への自重ストレスを与えずに測定を行うことが可能です。

測定の仕組み                                         

マイクロメータやレーザー干渉計とは異なり基板を縦方向に設置することで、基板面の自重による歪曲を発生させずに測定を行うことができます。垂直に組み立てられた両Y軸と水平に据えられた2本のX軸間に挟まれた測定対象物の表裏面を、2基の半導体レーザーがXY移動した時の変異データをPC解析・演算することで、表面・裏面の平面度および厚さ形状を高精度に非接触で計測できます。

測定結果の一例

まとめ

昨今では基板の大型化が進んでおり、弊社も時代の流れに対応して1mを超えるサイズの製品の加工を承っております。今後とも基板の大型化および量産化は加速することが予想され、確かな加工技術と正確な測定で世の中のニーズにお応えいたします。