研磨における画像寸法測定器とは

画像寸法測定器とは

画像寸法測定器とはカメラで撮影された画像や平行光を利用した投影画像より被対象物の端部（エッジ）をもとに直線や円、円弧の寸法測定することができる非接触式の測定器です。ニットーでは透過型の高精度2次元寸法測定器を用いて研磨した製品の測定検査をおこなっています。

画像寸法測定器の原理

投光素子から発せられた光は、高精度な投光レンズを通して被測定物を照らします。被測定物によって生じた影の映像が受光レンズを通してCCD上に投影画像として映し出されます。取得した画像より指定した投影画像のエッジ（2次元座標）を基準にして演算解析され数値化されます。

測定画像のイメージ

画像寸法測定器の特長

• 高画素CCDによって表示分解が1µmレベル
• 高精度な光学測定であるためスリムでコンパクトサイズ
• 平行光を用いることで、測定ステージのピント調整することが不要
• 複雑な形状をした製品（成型品・ウエハーパターン）の寸法測定ができる
• 同形状の被対象物なら繰り返し測定は約1秒と短時間で測定可能
• 平行光を利用した光学式のため、繰り返し測定の精度が高く測定ばらつきが少ない

画像寸法測定器の用途

おもに電子部品や自動車部品の複雑な形状をした製品でも非接触で測定できるため、繊細な製品の寸法管理に多く使用されることがあります。また、人による測定時間が短縮できるため人員削減や安定した品質管理に導入されます。

まとめ

ニットーでは光学ガラス基板やウエハー形状の寸法測定で多くの実績がございます。大量生産において製品の品質確認は不可欠となりますので、画像寸法測定器を用いて品質管理をおこなっています。平面研磨加工だけではなく、製品寸法にも品質管理の範囲を拡げて生産対応しておりますのでお気軽にお問い合わせください。