平面研磨における微分干渉顕微鏡とは

微分干渉顕微鏡とは

微分干渉顕微鏡とは、主に無色透明な物質を観察する際に使用される光学顕微鏡の一種です。照明光がサンプルの表面を通過する際に勾配部分で生じる位相差を利用して、透明なサンプルの像に明暗のコントラストを付けることで対象物を観察できます。観察にあたっては、微分干渉プリズムと偏光板を装着します。一般的に「微分干渉観察法」とも言われています。

微分干渉顕微鏡の特徴

• サンプルの厚みや勾配を利用して色や明暗のコントラストを付けて観察ができる
• 立体感のある明暗、又は色のコントラストが付きコントラストを微調整できる
• サンプルの厚さは数百μmまで可能
• 無色透明のサンプルの観察
• 生きている細胞の観察（非染色の生物サンプル）

平面研磨における「微分干渉観察法」の利点と活用

ガラス、セラミックス、金属組織、樹脂、ウエハなどの表面観察に

微分干渉顕微鏡ではあたかも物体の斜め上方から光を当てたように物体の輪郭に影が付き、立体的に見えます。主に無色透明な標本や細胞をはじめとするガラス、セラミックス、金属組織、樹脂、ウエハなどの表面観察によく用いられます。

研磨加工されたフラットな基板の突起物や異物、キズ等の検出に効果的

そのため、通常の光学顕微鏡における暗視野観察に加え、微分干渉観察では明暗や干渉色のコントラストを利用して物質を立体的に観察できることから、研磨加工されたフラットな基板においては突起物や異物、キズ等の検出に効果的となります。

ニットーが保有する微分干渉顕微鏡

まとめ

1. 無色透明でフラットなサンプルにおいて表面状態を立体的に観察できる
2. サンプル表面の突起物・異物などの検出に有効的
3. 研磨面の欠陥（キズ）など干渉コントラストの強弱によって分析しやすい

ニットーではお客様が求めている研磨品質に近づけられるようサンプルの状態や分析内容に応じて観察装置、分析装置を使い分け品質改善に努めています。お気軽にご相談ください。